用流体模型研究高功率微波气体击穿时,电子能量分布函数常被假设为麦克斯韦分布形式,此假设可能将给模拟结果带来较大的误差.通过求解玻尔兹曼方程,得到非平衡状态下的电子能量分布函数.分别将上述两类分布函数引入到流体模型中,对氩气击穿进行了数值模拟.结果表明,基于非平衡分布函数得到的击穿时间与粒子模拟结果符合得很好,而当平均电子能量较低时,麦克斯韦分布函数的高能尾部导致了较短的击穿时间.最后,采用非平衡分布函数计算了不同压强下的氩气击穿阈值,发现其与实验结果基本符合.
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