不镀膜页岩样品的氩离子抛光/扫描电镜分析方法研究

作者：王亮; 章雄冬; 刘玉霞

来源：电子显微学报, 2015, 34(01): 33-39.

• 镀膜
• 氩离子抛光
• 扫描电镜
• 页岩
• 微孔隙

在对氩离子抛光页岩样品的扫描电镜分析过程中,对比了镀膜与不镀膜方式的优缺点。结果显示:镀膜能够显著减轻荷电现象,而不镀膜方式能更好地获得页岩内部,特别是微孔隙结构的真实信息。在对分析条件,包括加速电压、检测器的选择及扫描速度等进行优化后,不镀膜方式也能获得荷电较少,细节清晰的抛光页岩扫描电镜图片。此外,不镀膜方式在页岩的电镜分析中具有更广的应用前景,如聚焦离子束(focus ion beam,FIB)-扫描电镜能够分析获取页岩的三维孔隙结构。