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摘要
目的:研究出一种基于阵列波导光栅且插入损耗较小的光波长路由器。方法:设计一种6μm×6μm掩埋型二氧化硅方形波导,采用有限差分法计算了平板波导和通道波导的有效折射率,根据自由光谱范围的要求计算了阵列波导光栅路由器的衍射级次,根据公式和方程计算相邻排列波导的距离、相邻阵列波导的路径长度差、输入/输出波导的距离和自由传播区域的长度,确定阵列波导的数目,最终对其进行仿真与实验。结果:该设备的插入损耗在4.50 dB到6.79 dB之间,串扰约为25 dB。结论:该器件具有良好的16×16波长路由功能且制作简单。
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