<正>铌酸锂是一种非常重要的光学功能材料,因其电光效应而闻名,铌酸锂电光调制器能够将电子数据转换为光子信息,被广泛地应用于光通信系统,是实现电光转换的核心元件。类比于硅在微电子中的地位,铌酸锂也被称为光电子时代的"光学硅"。制造高品质、微小化的铌酸锂器件进而实现高集成度的铌酸锂光电芯片,对于提高光通信系统的容量与处理速度具有十分重要的意义。能够实现纳米尺度铌酸锂微纳结构,并实现对光行为的操纵是实现相关高密度集成光电器件的关键所在。但由于铌酸锂的硬度高、
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