化学水浴法制备ZnS薄膜

作者：孟飞; 张谷一; 何建平; 朱洁

来源：电源技术, 2007, (12): 998-999+1011.

• ZnS薄膜
• 化学水浴法
• 窗口层 chemical bath deposition
• ZnS thin films
• buffer layer

采用了化学水浴法制备异质结薄膜太阳电池中的窗口层ZnS薄膜。尝试了酸性溶液制备ZnS薄膜,讨论了溶液成分、水浴时间和温度对薄膜成分和形貌的影响。研究结果表明在75℃,6h条件下沉积得到的薄膜最平整,成分最符合化学计量比,退火后薄膜主要为纤锌矿结构的ZnS相。

• 单位
  北京科技大学; 新金属材料国家重点实验室