摘要

金刚石拥有已知材料中最高的压阻系数,5.45 eV的高禁带宽度,其制成的高温压力传感器芯片,在理论上可以拥有更高的灵敏度和更高的抗辐射性能,可以适应高温、复杂电磁环境等领域。文中开发了一种新型金刚石高温压力传感器芯片的设计及制作方法,制成的传感器芯片在压力输出线性程度和迟滞方面对比已有文献报道表现优异。

  • 单位
    沈阳仪表科学研究院有限公司