从第七届国际真空展看扩散泵产品的变化

作者：徐成海; 王鑫; 勾颖

来源：真空, 2004, (04): 30-32.

• 扩散泵
• 返油率

评述现有国产扩散泵产品的进展情况 ,存在的不足之处 ,今后应努力改进的方向。讨论测量扩散泵返油率的几种方法 ,提出采用石英晶体振荡器测量扩散泵返油率的新建议

• 单位
  东北大学; 辽宁沈阳; 自动化学院