简述SPC技术在扩散工艺SiO2厚度控制中的应用

作者：张二东; 冯小元; 乔旭

来源：山东工业技术, 2015, (20): 23.

DOI：10.16640/j.cnki.37-1222/t.2015.20.021

• SPC
• 控制图
• 过程能力

文章介绍了统计过程控制(SPC)技术的基本原理,对其两个基本的监控工具控制图和过程能力做了简单介绍,并在实际中应用SPC技术对扩散工艺Si O2厚度进行了监控。

• 单位
  西安电力电子技术研究所