本发明公开一种太赫兹矩形波导的制备方法、矩形波导及波导器件,其中,太赫兹矩形波导的制备方法,包括：采用金属辅助化学刻蚀方法在一半导体晶片上形成立方体凹槽；在刻蚀的凹槽表面沉积第一导电材料；将沉积有第一导电材料的另一晶片与刻蚀的凹槽中沉积有第一导电材料的半导体晶片进行键合,形成以第一导电材料为波导壁的矩形波导。本发明方法制备的波导具有体积小且精度高的优点。
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