提升TO型光器件封装系统工艺质量的方法

作者：王元仕; 郭婷婷; 李伟; 赵雷

来源：电子工艺技术, 2022, 43(03): 169-177.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2022.03.013

• TO型光器件
• 封装
• 机器视觉
• 工艺质量

针对光通信领域TO型光器件的封装工艺，研究了TO型光器件的封装原理及工艺流程，分析了影响TO型光器件工艺质量的几个要素。在传统封装工艺的基础上，引入机器视觉对位算法，为TO型光器件工艺质量和精度的提升提供了参考依据。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二研究所