MgO/SrTiO_3(001)生长初期的各向异性晶格畸变

作者：魏贤华; 崔传伟; 张鹰; 朱俊

来源：真空科学与技术学报, 2010, (05): 484-487.

• 反射高能电子衍射
• 晶格
• 各向异性
• 应变
• 织构 Reflection high-energy electron diffraction
• Lattice
• Anisotropy
• Strain
• Texture

通过原位的反射高能电子衍射,监测并测量了MgO/SrTiO3(001)岛状生长初期过程中的面内、面外晶格常数的演变。薄膜的面内晶格在一开始生长时就发生弛豫,且大多数应变在2 nm厚度左右被释放并几乎保持稳定,而面外的晶格应变弛豫一直持续进行。这种应变的各项异性被认为与薄膜的织构导致的应变能变化有关。

• 单位
  西南科技大学; 电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 材料科学与工程学院