一种HEMT开关器件

作者：郑雪峰; 陈轶昕; 王士辉; 李纲; 马晓华; 郝跃

来源：2018-08-30, 中国, ZL201811003853.5.

本发明公开了一种HEMT开关器件,包括悬浮电极(9)和底部结构,其中悬浮电极(9)通过弹性件(12)固定在所述底部结构的上方,且所述悬浮电极(9)的底部设置有凸点电极(10),所述底部结构包括衬底(1),成核层(2),缓冲层(3)以及势垒层(4)；另外所述弹性件(12)设置在所述衬底(1)上,所述缓冲层(3)的上表面还设置有源电极(6)和漏电极(7),所述漏电极(7)与所述凸点电极(10)相对应,所述势垒层(4)的上表面设置有栅电极(8)和钝化层(5)。本发明所提出的HEMT开关器件,既具有静态功耗极低、开关速度快的特点,还具有击穿电压高,功率容量大的特点。

• 单位
  西安电子科技大学