一种室温气体传感器件和制备方法及其在检测有害气体中的应用

作者：郭梁超; 李黛玥; 韩浩然; 刘可为; 郑子晨; 董航; 李鸿鹏; 张超

来源：2022-06-28, 中国, CN202210749943.9.

本发明公开了一种室温气体传感器件和制备方法及其在检测有害气体中的应用,该室温气体器件包含绝缘二氧化硅绝缘衬底、半导体功能层(WO3、TiO2或者ZnO)和叉指型Au或者Ag电极。另外相对于现有的光学检测方法和红外法等,本发明的检测方法利用具有忆阻器的忆阻效应以及在室温下通过电脉冲检测不同挥发性有机气体(VOCs)的灵敏度和前后电流变化,实现区分不同挥发性有机气体(VOCs)的功能。本发明的特点是：室温条件下利用电脉冲形成忆阻效应检测并区分低浓度VOCs(甲苯、二甲苯、甲醇、正壬醛、丙酮),实现对低浓度VOCs的快速且高灵敏的快速识别,在可穿戴器件、智能医疗、人工智能等领域具有巨大应用前景。

• 单位
  扬州大学