采用微正压CVD法制备块体各向同性热解炭

作者：李建青; 满瑞林; 谢志勇; 谭瑞轩; 黄启忠

来源：中南大学学报(自然科学版), 2011, (03): 600-604.

• CVD
• 各向同性炭
• 沉积机理 CVD
• isotropic pyrocarbon
• deposition mechanism

以丙烯作为碳源气体,氮气和氢气作为载气和稀释气体,采用自行设计的化学气相沉积(CVD)炉,设计特殊的发热体,利用微正压化学气相沉积法制备块体各向同性热解炭材料。对制备的材料取样分析,利用排水法测量样品的表观密度;通过金相显微镜表征材料的组织结构和表面形貌;利用扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜表征材料的微观结构和断口特征。提出了一种新的各向同性热解炭的沉积机理即电磁场流态化沉积机理。研究结果表明:在1 000～1 300℃沉积10～40 h,可得到密度为1.73～1.93 g/cm3、厚度为5～15 mm的各向同性热解炭材料块体,主要由球形颗粒状热解炭组成,结构致密,孔隙较少,分布均匀,...

• 单位
  化学化工学院; 中南大学; 粉末冶金国家重点实验室