悬臂式大量程精密三维轮廓测量仪的研制

作者：邹华东; 林胜鹏; 张志田

来源：清远职业技术学院学报, 2022, 15(06): 43-48.

• 三维轮廓测量仪
• 表面粗糙度测量
• 二维微位移传感器
• 悬臂梁结构

为了达到粗糙度与轮廓同时测量的目的，设计了杠杆加簧片的悬臂梁结构二维微位移传感器，采用了二维工作台叠加垂直位移工作台作为移动部件，开发了测控电路及三维轮廓测量软件，完成了三维轮廓测量仪的研制。完成后对仪器进行了精度测试及应用验证，结果表明其测量准确，能够满足表面轮廓测量的需要。

• 单位
  清远职业技术学院