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摘要
本文利用扫描透射电子显微学方法,表征了在压应力铝酸镧及拉应力钛酸锶衬底生长的LaCoO3/LaMnO3多层膜中的应变分布,研究了在电子束辐照作用下LaCoO3/LaMnO3多层膜的结构演化。LaMnO3层中压应变引起的缺陷在电子束辐照下会得到愈合,LaCoO3层在电子束辐照下会产生更多的暗条纹。电子能量损失谱的结果表明,辐照前后LaCoO3,LaMnO3层中辐照区域均会产生更多的氧空位。本文研究的多层膜中的结构演化是应变能、电子束辐照的能量以及氧空位形成能共同作用的结果。本文也为电子束辐照调控LaCoO3薄膜的磁性提供了可能。
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