开口环阵列多频带高Q值透射型传感器及其制造方法

作者：王继成; 包志瑀; 李璟文; 刘禹

来源：2020-12-23, 中国, ZL202011535949.3.

基于环阵列的GHz多频带高Q值透射型传感器,包括：绝缘基板；金属层,被设置在绝缘基板表面；覆盖层,被设置在绝缘基板和金属层表面；其中,所述金属层包括四个L形部件以及四个T形部件,四个所述T形部件的尾部相连,四个L形部件包围在四个所述T形部件的外围,四个L形部件以及四个T形部件构造成中心对称分布的形状；当光入射到金属–绝缘介质结构时,在2-8.5GHz工作范围内会出现5个窄带透射峰,然后在添加0.6μm厚度的覆盖层,以第四个透射峰值作为传感器工作频率,改变覆盖层的折射率,最终得到了最高灵敏度为0.532GHz/RIU,线性拟合R2值为0.9669,Q值最高为113.42,最低为59.03,达到了高的Q值。

• 单位
  江南大学