镀膜方法对氧化硅介孔薄膜的微观结构和光学性能的影响（英文）

作者：张馨文; 赵翔宇; 赵高凌; 韩高荣

来源：稀有金属材料与工程, 2016, S1: 262-265.

• 介孔
• 溶胶-凝胶
• 旋涂
• 提拉
• 可见光透过性

以CTAB为模板剂,采用溶胶-凝胶法制备SiO2介孔薄膜,探究了浸渍-提拉法和旋涂法对其微观结构和光学性能的影响。用小角X射线散射(SAXS)和透射电镜(TEM)分析薄膜内部孔道排列方式,发现采用旋涂法镀膜更易得到较为有序的介孔阵列,其孔道周期参数a为3.76nm。用扫描电镜(SEM)观察样品发现通过两种镀膜方法制备得到的薄膜表面均平整无裂纹。紫外-可见光谱表明,采用两种镀膜方法均能得到可见光透过性良好的镀膜玻璃,其中通过旋涂法制得的薄膜厚度非常均一。

• 单位
  硅材料国家重点实验室; 浙江大学