8英寸薄层硅外延片的均匀性控制方法

作者：王肖波

来源：中国新技术新产品, 2019, (09): 22-23.

DOI：10.13612/j.cnki.cntp.2019.09.011

• 8英寸硅外延片
• 薄层外延
• 外延层厚度

作为半导体硅器件和集成电路中经常会使用的一种基础功能的材料,硅外延片的性能非常优越,是我国电子信息技术产业发展过程中经常会用到的材料。半导体器件薄层硅外延片在半导体中的应用范围非常广泛,其在半导体器件中担任的主要是电路功能。该文就8英寸薄层硅外延片的均匀性控制进行研究,希望能够在一定程度上提高8英寸薄层硅外延片的质量。