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摘要
在4d过渡族金属氧化物AMoO3（A=Ca, Sr, Ba）中, BaMoO3是唯一没有外延薄膜相关研究报导的材料.本文以BaMoO3多晶陶瓷为靶材,利用脉冲激光沉积技术得到了高质量的BaMoO3和BaMoO4外延薄膜;分析了氧分压在薄膜生长中的作用,发现BaMoO3的外延生长对氧分压极为敏感.通过氧分压调制实验,在SrTiO3 （111）衬底上发现了一种BaMoO3参与的自组装超晶格结构,对其进行了结构表征和初步分析,并从脉冲激光沉积制备钙钛矿薄膜的动力学角度对该结构的形成进行了讨论;最后对本系列外延膜进行了电输运性质的表征,结果显示在SrTiO3 （001）衬底上的外延BaMoO3薄膜有着更好的导电性.
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