薄膜太阳能电池的激光刻线技术及工艺研究

作者：王杭亮; 王敏芳; 潘涌; 姜兆华; 张伟

来源：应用激光, 2011, (03): 236-240.

• 薄膜太阳能电池
• 激光刻线
• a-Si
• CIGs lthin-film solar cell
• laser scribing
• a-Si
• CIGS

为提高薄膜太阳能电池的转换效率,采用1064nm与532nm纳秒激光器及515nm皮秒激光器对a-Si和CIGS薄膜太阳能电池的刻线工艺进行了实验研究,获得了不同激光参数下的刻线效果。并结合当前市场情况与工艺水平,提出了今后薄膜太阳能电池激光刻线的发展方向。

• 单位
  上海市激光技术研究所