四氯化硅冷氢化技术研究进展

作者：沈峰; 陈其国; 潘维杰

来源：中国氯碱, 2019, (09): 18-21.

• 四氯化硅
• 三氯氢硅
• 多晶硅
• 冷氢化

综述了冷氢化法制备三氯氢硅中四氯化硅反应机理、反应条件、催化剂、无水氯化氢和能量综合利用的最新进展。

• 单位
  江苏中能硅业科技发展有限公司