基于激光位移传感器的自由曲面精密测量方法

作者：董祉序; 孙兴伟^*; 刘伟军; 杨理践; 王雷

来源：仪器仪表学报, 2018, 39(12): 30-38.

DOI：10.19650/j.cnki.cjsi.J1804236

• 激光位移传感器
• 自由曲面
• 精密测量
• 在机测量

针对数据采集误差严重影响激光位移传感器(LDS)测量精度的问题,基于激光三角法测量原理,分析了激光束和会聚光斑质心对系统测量精度的影响,建立了定量计算LDS物面倾角误差和感光元件倾角误差的数学模型。采用该模型,可对LDS采集数据进行实时补偿。实验结果表明,引入两个补偿模型对测量结果进行修正后,不仅大幅提高了LDS的数据采集精度,使其测量误差控制在0.008 mm以内,而且提升了LDS在自由曲面中的测量精度。

• 单位
  沈阳工业大学