SiO2-SiNx体系光学谐振腔中Ti超导薄膜特性的研究

作者：刘海燕; 孙潇莹; 李劲劲; 王雪深; 陈建; 高鹤; 周哲海; 徐骁龙^*

来源：计量学报, 2023, 44(04): 549-554.

• 计量学
• TES
• 超导薄膜
• 光学谐振腔
• SiO2-SiNx体系
• Ti膜

设计良好的光学谐振腔是提高超导转变边沿传感器(TES)光学效率的有效手段，光学谐振腔结构厚度的变化，不仅对TES的光学效率有影响，而且会产生不同的残余应力进而影响TES的超导特性。研究了以超导Ti膜为TES功能层材料，同时选用SiO2-SiNx体系作为光学谐振腔薄膜。通过对数值仿真，确定了SiO2-SiNx体系光学谐振腔薄膜厚度变化对Ti-TES光学吸收效率的影响。分析了SiO2-SiNx体系光学谐振腔不同薄膜厚度的变化自身应力随之变化的趋势，最后制备了不同厚度SiO2-SiNx光学谐振腔的TES,并进行光学吸收效率的测试，验证了SiO2-SiNx体系光学谐振腔薄膜厚度对Ti-TES光学吸收效率变化的规律。

• 单位
  沈阳化工大学; 中国计量科学研究院; 北京信息科技大学