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摘要
高频声透镜聚焦超声换能器在电子器件评估与检测、材料微观机械性能表征、生物医学成像、细胞操控等方面具有重要的应用。结构参数是影响其性能的主要因素之一。该文通过有限元法对基于声透镜结构的高频聚焦超声换能器进行仿真模拟，分析了声透镜的开孔角度对该类换能器聚焦区域声压模式、横向分辨率、-6 dB景深等关键性能参数的影响。仿真结果表明，换能器的焦距和横向分辨率与理论计算结果接近。随着声透镜开孔角度的增大，换能器的横向分辨力随之提高，焦点处声压级逐渐增大，-6 dB景深逐渐下降。这为声透镜聚焦超声换能器的优化设计提供了一定的技术基础。
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单位中国科学院声学研究所; 声场声信息国家重点实验室; 中国科学院大学
