系统研究了热处理时间对薄膜相组成、磁性能和微观结构的影响,发现经过高温热处理非晶态的Sm-Co薄膜层转变为了晶态的Sm-Co相,热处理条件确定为800℃保温10 h再以0.7℃/min的速率缓慢降温至400℃时薄膜晶化程度最好,磁滞回线也拥有最好的方形度。