基于斜入射光反射差技术检测微倾角

作者：杨义勤; 秦凡凯; 孟昭晖; 杨颀; 李超; 苗昕扬; 赵昆; 詹洪磊^*

来源：物理实验, 2020, 40(09): 10-13.

DOI：10.19655/j.cnki.1005-4642.2020.09.003

• 微倾角
• 斜入射光反射差技术
• 相位差
• 光程差

利用斜入射光反射差技术对表面光滑、上下面存在倾角为0.23°的20号钢样品表面进行扫描成像.成像结果显示:位置对斜入射光反射差信号产生明显影响,在扫描的0.3mm×0.3mm范围内,2条对角线上的信号变化率分别为81.5%与33.3%.对于上下面存在微倾角的柱状样本,不同位置存在微小厚度差,使得光程发生变化,反射率及反射光相位发生改变,从而改变倍频信号的强度.因此,斜入射光反射差技术可检测材料表面的微倾角.

• 单位
  材料学院; 中国石油大学（北京）