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摘要
为提高紫外激光器的光电性能，降低阈值电流，提出采用Al组分渐变的量子垒层（QBs）以及Al组分渐变的n型波导层（n-WG）优化标准结构——参考实验样品设计的AlGaN基紫外激光器结构，使用PICS3D仿真软件，对三种不同新结构及标准结构进行构建和数值分析。通过比较四种结构的L-I-V特性曲线，能带结构，载流子电流密度分布等性质，研究表明同时采用Al组分渐变的量子垒层（QBs）以及Al组分渐变的n型波导层的紫外激光器具有更优异的性能。在800mA注入电流下光输出功率可达775mW，与标准结构相比提高了35.7%；阈值电流降低为62.3mA与标准结构相比降低了73.6%。
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