Ni/Au与N掺杂p型ZnO的欧姆接触

作者：王新; 吕有明; 申德振; 张振中; 李炳辉; 姚斌; 张吉英; 赵东旭; 范希武

来源：发光学报, 2006, (03): 426-428.

• p-ZnO
• Ni/Au
• 欧姆接触
• 退火

研究了Au,In,N i/Au三种不同金属膜与N掺杂p型ZnO的接触特性,发现N i/Au双层膜更适合作为其欧姆电极材料,并比较了不同气氛和不同温度退火对N i/Au电极的影响。发现在O2中退火电极性能发生蜕变,而在N2中退火性能得到改善。指出即使在N2中退火,退火温度的选择也是至关重要的,本实验在400℃,氮气气氛下退火150 s,得到了较好的欧姆接触特性。

• 单位
  中国科学院研究生院