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摘要
由于极高的光学分辨要求，导致焦深日益减小，为适应十分有限的焦深，探索一种可以应用于晶圆检测设备中的调焦技术。主要研究内容包括激光位移传感器检焦测量原理、调焦工作原理、调焦流程以及利用最小二乘法拟合晶圆面型。采用Tenengrad梯度函数和Sobel算子提取像素点水平方向和垂直方向的梯度值，以此来评判图像清晰度，验证激光位移传感器在晶圆检测工作中调焦得可行性，从而提供一种更加通用便捷的工程解决方案。
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单位自动化学院; 桂林电子科技大学
