航空发动机用薄膜热电偶研制

作者：杨柯; 蒋洪川; 赵晓辉^*

来源：传感器与微系统, 2019, 38(04): 82-85.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2019)04-0082-04

• 薄膜热电偶
• 热电特性
• 静态标定
• 塞贝克系数

针对航空发动机涡轮叶片表面温度测试的迫切需求,采用薄膜沉积工艺,能够在Ni基高温合金表面制备热电性能较好的中温K型(NiCr/NiSi,<600℃)、高温R型(Pt—13%Rh/Pt,<900℃)、超高温(ITON/Pt,<1 100℃; In ON/ITON,> 1 200℃)等薄膜热电偶。薄膜热电偶由NiCr Al Y过渡层、热生长Al2O3层、Al2O3绝缘层、功能层和Al2O3保护层构成。通过静态标定结果分析,其塞贝克系数分别达到38. 26,10. 60,78. 60,123. 10μV/℃,在恶劣环境下具有良好的稳定性和一致性,使用寿命均大于10 h。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学