化学脱钴对硬质合金沉积金刚石薄膜的影响

作者：魏秋平; 余志明; 马莉; 杨莉; 刘王平; 肖和

来源：中国有色金属学报, 2008, (06): 1070-1081.

DOI：10.19476/j.ysxb.1004.0609.2008.06.019

• 金刚石薄膜
• 硬质合金
• 预处理
• 附着力

采用HFCVD系统,以CH4和H2为反应气体,分别在YG3、YG6、YG10、YG13硬质合金上沉积了金刚石薄膜,研究了化学脱钴处理对不同钴含量硬质合金沉积金刚石薄膜的影响。通过对105个样品的实验结果进行统计分析发现,YG3所得金刚石薄膜样品具有足够结合强度的比例为89%;而YG6、YG10和YG13所得样品的相应值分别为24%、7%和0%。相反,YG3、YG6、YG10和YG13所得金刚石薄膜严重破坏的比例分别为0%、64%、72%和79%。研究表明,化学腐蚀脱钴处理能够解决金刚石涂层形核率低的问题,但难以解决高钴硬质合金的附着性差的问题。

• 单位
  中南大学; 粉末冶金国家重点实验室