使用感应电荷位敏阳极的极紫外单光子计数成像系统

作者：尼启良; 何玲平; 刘世界; 董宁宁; 陈波

来源：光学精密工程, 2010, (12): 2543-2548.

• 极紫外探测器
• 光子计数成像探测器
• 微通道板
• 感应电荷
• 楔条形位敏阳极 Extreme Ultraviolet(EUV) detector
• photon-counting imaging detector
• Microchannel Plate(MCP)
• induced-charge
• wedge-strip position-sensitive anode

研制了用于月基极紫外成像相机的二维极紫外位敏阳极光子计数成像探测器原型样机,该探测器系统主要由工作在脉冲计数模式下的微通道板堆、楔条形感应位敏阳极及相关的模拟和数据处理电路组成。设计和制备了周期为1.5mm,有效直径为47 mm的三电极楔条形位敏阳极,研制了最高计数率为200 kHz的前端模拟和数字电路。测量了探测器的暗计数率、脉冲高度分布、增益、线性及空间分辨率等工作特性。测量结果表明,探测器的空间分辨率为7.13 lp/mm(即0.14 mm),满足月基极紫外相机对空间分辨率的要求。

• 单位
  中国科学院苏州生物医学工程技术研究所; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室