蓝宝石衬底上NaOH辅助CVD法制备有序单层MoS2条带(英文)

作者:胡诗珂; 李晶; 展肖依; 王爽; 雷龙彪; 梁逸俭; 康鹤; 张燕辉; 陈志蓥; 隋妍萍; 姜达; 于广辉*; 彭松昂; 金志; 刘新宇
来源:Science China-Materials, 2020, 63(06): 1065-1075.

摘要

本文报道了一种在蓝宝石衬底上NaOH辅助化学气相沉积(CVD)生长有序排列单层MoS2条带的方法. MoS2条带具有优良的单晶性,其载流子迁移率为~150 cm2V-1s-1,在550 nm波长下的光学响应为103 mA W-1.单层MoS2条带在蓝宝石衬底上具有两种生长方式,其中一种为受层间范德华力以及晶格影响的取向生长,另一种为受蓝宝石台阶约束的平行生长. NaOH的引入量对MoS2形态与取向起重要作用,可以实现从取向性三角形晶畴,受衬底晶格影响的取向MoS2条带,受衬底台阶约束的平行条带,再到大尺寸杂乱取向三角形晶畴的连续可调.本文的结果有利于推动MoS2的基础研究及器件应用,也为合成其他一维和二维纳米结构开辟了新途径.