利用等离子体气相合成法制备硅纳米颗粒,配制出基于硅纳米颗粒的用于丝网印刷的掺杂硅浆料。当硅浆料中磷硅原子比不小于0.45、磷的质量分数浓度在6.32%以上,或硼硅原子比不小于0.90、硼的质量分数浓度在1.75%以上时,用丝网印刷硅浆料能够实现方块电阻在50Ω/□以下的重掺效果,表明掺杂硅浆料有望应用于太阳电池的制备。
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