影响薄膜器件绝缘性能的工艺研究

作者：潘婷; 蔺露

来源：集成电路应用, 2022, 39(06): 36-37.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2022.06.013

• 薄膜敏感元件
• 电极薄膜
• 绝缘强度
• 结合力
• 离子能量

阐述影响薄膜敏感元件绝缘强度的工艺优化，得出最佳的离子能量参数，既能保证敏感元件良好的绝缘性能，又能满足结合力指标的要求，绝缘强度从小于200MΩ提高到大于3×105MΩ。

• 单位
  陕西电器研究所