提高离子注入机晶圆机械传输效率及晶圆散热优化研究

作者：谢均宇; 刘海霞; 张磊; 杜佳伟; 卓祖亮; 石倩楠

来源：电子工业专用设备, 2020, 49(06): 17-22.

DOI：10.3969/j.issn.1004-4507.2020.06.005

• 离子注入机
• 晶圆传输
• 机械手
• 晶圆散热优化

针对离子注入机的晶圆传输过程,提出了一种提高晶圆传输效率的方法,在晶圆自动传输的基础上,对机械手传输动作、电机动作进行优化,节约不必要的时间消耗,提高了晶圆机械传输效率,同时开展晶圆温度技术研究,通过提升晶圆的扫描速度实现晶圆表面热量的减少,改善了工艺加工后晶圆的整体质量及性能。