Na掺杂MoO3陶瓷靶材的制备及其成膜性能研究

作者：雷金坤; 李继文^*; 李召阳; 刘伟; 徐流杰

来源：电子元件与材料, 2022, 41(01): 40-103.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.1551

• 放电等离子烧结
• Na掺杂
• MoO3陶瓷靶材
• 磁控溅射
• Na离子源

为满足薄膜太阳能电池对Na源充足与稳定的需求,以钼酸钠和氧化钼粉为原料,采用放电等离子烧结技术(SPS)制备了Na掺杂MoO3陶瓷靶材(Na-MoO3),研究了烧结温度、烧结助剂Al和Na掺杂含量("含量"指摩尔分数)对Na-MoO3靶材结构、组织、致密度以及Na回收率的影响。结果表明:在烧结助剂Al含量为1%、Na含量为3%、烧结温度为450℃的实验条件下,可以制备出致密度高(相对致密度98.2%)、钠回收率高(94.3%)的Na-MoO3陶瓷靶材。随着掺杂含量的增加,Na-MoO3靶材致密度和Na回收率降低。将含1%Al和3%Na的氧化钼陶瓷靶材通过磁控溅射工艺溅射成膜,所制备的Na-MoO3薄膜结构致密,0.28%Na元素均匀弥散分布于薄膜中。

• 单位
  河南科技大学