纳米结构铁电膜的制备和物性及微结构表征

作者：朱信华; 宋晔; 杭启明; 朱健民; 周顺华; 刘治国

来源：无机材料学报, 2010, (09): 966-970.

• BaTiO3
• 纳米结构铁电膜
• 介电和铁电性能
• 微结构 BaTiO3
• nanostructured ferroelectric films
• dielectric and ferroelectric properties
• microstructure

采用脉冲激光淀积法在硅基氧化铝纳米有序孔膜版介质上(膜版孔径平均尺寸25nm,内生长Pt纳米线作为底电极一部分)制备了纳米结构的BaTiO3铁电膜(膜厚25nm),并对其铁电和介电性能以及微结构进行了表征.结果表明,BaTiO3铁电纳米膜的介电常数随着测量频率的增加(103～106Hz)从196缓慢下降到190;介电损耗在低频区域(103～105Hz)从0.005缓慢增加到0.007,而在高频率区域(>105Hz)快速增加到0.013.薄膜的剩余极化强度约为5μC/cm2,矫顽场强约为680kV/cm.剖面(S)TEM像表明,BaTiO3铁电纳米膜与Pt纳米线(底电极)直接相连,它们之间的界面...

• 单位
  固体微结构物理国家重点实验室; 南京大学; 物理学院