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摘要
碳化硅外延设备是半导体产业链的重要设备之一，外延设备的控制系统直接决定了设备的优劣。针对用户对外延设备控制系统各项功能的需求尚未明确的问题，首先通过会议讨论、问卷调查、专家访谈等方式，收集整理出完整的用户需求清单并分类整合。其次运用改进A-Kano (Analytical Kano)问卷对用户需求及满意度进行权重评分。创新性地对问卷选项分值进行优化设计，有效确保了A-Kano的调查问卷所得到的结果与传统Kano模型没有原则上的偏差，提高了需求划分的相对准确性。进而利用A-Kano模型量化评估外延设备控制系统中各功能的需求层次属性，筛选出基础型需求、期望型需求和魅力型需求。根据需求清单及AKano需求实现优先级原则，制定了3类典型需求的设计、实现与优化研发方案，通过架构设计、应用界面设计、算法优化、差异化需求实现等确保提供给用户稳定的基础型需求、极致的期望型需求和惊喜的魅力需求。最终经实际验证系统稳定、可靠，已生产出膜厚均匀性、掺杂浓度均匀性、表面粗糙度等关键指标符合质量标准的外延片，达到工艺要求，并且用户NPS调研满意度高。
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