本发明公开了一种服务器用喷雾液冷相变模组、控制方法及其制造方法,包括相变传热模块和喷雾冷却模块,所述相变传热模块包括蒸发端、绝热端及冷凝端,所述冷凝端与喷雾冷却模块固定。本发明采用阵列式喷雾的布局,一方面增大了喷雾面积,使得作用在换热面上的冷量更均匀,从而降低了服务器芯片内部因热量传递不均匀而产生局部热点的温度;另一方面在保证喷雾效率前提下,降低喷雾高度,减小喷雾冷却模块的体积。