一种高频高压等离子体发生器

作者：伍远博; 陶智; 黄敏; 顾中浩; 徐超; 周长伟; 江均均; 吴迪^*

来源：科技创新与应用, 2019, (12): 20-22.

• 等离子体发生
• 全桥移相
• 高频谐振

针对传统直流等离子体发生器电源效率不高、驱动管热损耗大等问题,设计了一个高效率低损耗的高频高压等离子体发生器。该系统通过移相全桥控制电路进行PWM方波控制,在功率晶体管驱动下,经高频谐振升压电路对输入信号升压,实现等离子体的稳定发生。实验结果表明,该系统与传统直流等离子体发生器相比电源效率提升了5.4%。

• 单位
  苏州大学