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摘要
论述了NIKON i12D(type3)光刻机Notch定位原理和圆片搜寻对准原理。根据150 mm(6英寸)圆片晶向,提出了一种在圆片被送入承片台之前将其Notch旋转135°的方法 ,完成设计出图、零件加工、安装调试。测试结果表明,该方法成功率高,重复性好,能够显著降低划片崩边概率,提高划片完好率。
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论述了NIKON i12D(type3)光刻机Notch定位原理和圆片搜寻对准原理。根据150 mm(6英寸)圆片晶向,提出了一种在圆片被送入承片台之前将其Notch旋转135°的方法 ,完成设计出图、零件加工、安装调试。测试结果表明,该方法成功率高,重复性好,能够显著降低划片崩边概率,提高划片完好率。
