建立了一种基于谱域光学相干层析的表面形貌成像实验系统,该实验系统可以实现纳米精度及微米精度的表面形貌成像。系统主要包括低相干光光源、光纤迈克尔逊干涉仪、光谱仪。由光谱仪采集探测光和参考光的干涉光谱,经过傅里叶变换得到幅度谱和相位谱,分别得到纳米级及微米级精度的深度信息。用光学分辨率板和硬币对本系统进行了实验验证,该系统用于纳米级及微米级精度成像时,其精度分别为0. 075 nm和5. 1μm。
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