变倾角移相斜入射动态干涉仪

作者：刘致远; 陈磊^*; 朱文华; 丁煜; 马云; 郑东晖

来源：光电工程, 2019, 46(08): 40-48.

• 干涉测量
• 斜入射
• 动态干涉仪
• 表面平整度

为了快速获取不平整度达数微米量级的光学表面面形分布,提出一种基于变倾角移相的斜入射动态干涉仪方案。基于迈克耳逊干涉仪主光路系统,采用2×2点光源阵列,通过精确控制各点光源在干涉腔的入射倾角,引入等间隔移相,结合透镜阵列实现空间分光,在单个CCD上同时采集四幅移相干涉图,实现动态测量。在68°斜入射角下测量了口径35 mm硅片的平整度,均方根(RMS)值为1.631μm,峰谷(PV)值为9.082μm。实验结果表明,将变倾角同步移相技术引入斜入射干涉系统,可以克服环境震动的干扰,在保证高精度的前提下拓宽了可见光干涉仪的测量范围。

• 单位
  南京理工大学