为了在硬质合金材料上得到不同微凹槽织构尺寸的加工参数,采用Nd∶YAG激光微加工系统进行微凹槽造型。利用单因素分析法分析了泵浦电流和扫描速度对微凹槽参数的影响。通过WYKO-NT1-100三维形貌分析仪研究了试样的表面织构形貌。结果表明:泵浦电流对微凹槽织构的宽度和深度影响都很大,而扫描速度主要影响微凹槽的深度及底部质量。当扫描速度为8 mm/s时,微凹槽的深度最大,底部质量最好。