在Si3N4陶瓷球表面沉积低摩擦因数的类金刚石碳膜,可以进一步降低陶瓷球轴承的摩擦因数。为了在陶瓷球表面均匀沉积类金刚石碳膜,设计了三沟道单自转盘和三自转盘两种镀膜机构,并且对陶瓷球在工装中的运动进行了仿真,在此基础上讨论了两种机构的镀膜均匀性。三沟道单自转盘镀膜机构的镀膜均匀性较好,该机构能在陶瓷球表面沉积均匀的类金刚石碳膜。
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