大口径超光滑表面粗糙度非接触检测系统

作者：吴璀罡; 杨甬英

来源：光学仪器, 2004, (05): 7-10.

• 超光滑
• 粗糙度
• 干涉仪
• 无损检测 ultra smooth
• roughness
• interferometer
• nondestructive measurement

介绍了一种应用激光双焦干涉原理测量大口径超光滑表面粗糙度的检测系统。该系统采用共路干涉和电子共模抑制技术,减小了测试环境的影响,消除了激光光强波动引起的系统误差。同时,采用紧凑的光学干涉头移动的扫描方式,因此能够测量大口径光学元件。系统的横向分辨力为0.5μm,纵向分辨力为0.1nm,系统的重复性优于2%。