科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
为了克服石英玻璃和Pyrex 7740玻璃制作微流管道价格昂贵、工艺流程复杂等缺点,利用普通钠钙玻璃为基质、正光刻胶AZ4620为掩膜牺牲层,提出了一种高效、快速、低成本的微流管道制作方法。该方法优化了腐蚀工艺的关键参数,解决了光刻胶与玻璃的粘附性、光刻胶在腐蚀液中的耐受时间等问题。试验腐蚀深度达到80μm,最小特征尺寸小于50μm,微流管道侧壁陡直度小于100°,底部平整度误差小于±1.5μm,制作周期仅需4h左右。
-
单位上海市计量测试技术研究院; 中国人民解放军陆军工程大学
