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摘要
为了提高位置敏感探测器(PSD)的位置检测范围，解决光斑在探测器光敏面脱靶时无法准确定位光斑的问题，提出一种光斑脱靶误差补偿方法，分析了脱靶前后PSD检测光斑能量重心变化规律，建立了PSD光强信号与位置检测误差间的函数关系。实验结果表明：当PSD光敏面尺寸为12 mm×12 mm时，对于半径为5 mm的高斯光斑，通过所提出的光斑补偿方案补偿后PSD的X轴检测范围提高了66.7%,位置检测平均相对误差不超过5%,该方法对提高PSD位置检测性能具有重要的意义。
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单位中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
